第138章 MOCVD
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奉天科仪,三楼大会议室
“怎么样?小陈同学休息好了吗?”刘民学厂长关心的问道。
“我没事了。”陈泉的脸色已经恢复正常。“估计是昨天坐车时间太长,再加上休息不好。眯一会就好了。”
“那就好。那就好。”科仪的几位科长,都长长舒了一口气。
在参观的过程中,陈泉的脸色是越来越差。这让对考察报以厚望的主人们,心都悬了起来。他们搞不清楚,陈泉的脸色差,是因为身体原因,还是单纯的不满。
“希望这次意外,不会影响到对我们厂的评价。”
刘厂长还是有些不放心。
“没事,陈泉他的身体就是这样。毕竟年龄小,底子薄。”王湛乐呵呵的安抚。“但年轻人嘛,恢复得也快。不要介意。”
“那好,让我重新介绍吧。”
刘民学咳嗽了一声,吸引了所有人的注意。
创建于1958年的奉天科仪,属于集成电路装备和真空仪器设备领域的先行军。在一切自力更生的年代,有过辉煌的历史。
随着国门的打开,在进口产品的降维冲击下,奉天科仪的形式急转直下。
随着价格双轨制的取消,这两年奉天各企业的经济形势普遍向好,所以奉天科仪也在积极转型,例如进军农业机械市场,但效果越来越差。
......
“不知道,我们的这些介绍,是否足够详细?”刘民学厂长最后问。
“不错,不错。够了,够了。”
王湛已经在奉天两天了,对科仪的印像很是不错。
除了厂家本身的实力,也有容易配合的考量。毕竟其他设备厂家离冰城太远,沟通不方便。不说时间上的浪费,长途火车票也是紧俏物资的一种,不是想买就能买到的。
“在MOCVD领域,你们有什么积累吗?”
陈泉突然问到。奉天科仪的介绍,始终围绕着PVD类产品进行。
“MOCVD?”
刘民学有点意外,然后把目光投向了技术科科长王青山。这个领域,他并不熟悉。
“据我所知,MOCVD技术并不成熟,市面上好像还没有类似的产品吧。”
王青山有点不太确定。
MOCVD是从VPE基础上发展起来的新技术。
在MOCVD技术中,反应气体在高温下结合,形成的材料沉积在基板上。含有所需化学元素的生成物再和氢化物的表面反应,形成材料和化合物半导体的外延。
不同于传统的硅半导体,这些半导体可以包含的组合III族和V族,II族和VI族,IV族或第IV族,V和VI族的元素。
MOCVD相关理论提出得很早,但真正走入实际验证,不过是近几年的事情。有一些厂家,自行改造定制MOCVD,但相关技术和产品,远远没有成熟到可以商用的程度。
“你想在MEMS中,弃用PVD,转用MOCVD设备?”王湛听到消息,也是吃了一惊。“是又有什么新的发现吗?MEMS工艺要做大的修改吗?”
“嗯,怎么说呢......”
陈泉陷入了沉思。
蓝光LED之所以在红光,绿光LED面世二十年之后,还不能量产,就是因为遇到难以克服的困难。
在蓝光LED领域,人类的最早研究,走的是GaN路线。但GaN的合成太困难。
另外,科研人员还发现,GaN除了具有很高的缺陷密度,因此,大多数人都转向了其他技术方向。
目前市场上,有些低亮度的蓝光LED商品售卖,其走的是SiC路线。但这条路线,从原理上,发光效率就不高。
因此大量的研究人员,又转向了ZnSe材料。ZnSe材料,无论是理论,还是实际发光效率,都取得了很大进展,但这条路线始终面对一个令人头疼的问题,那就是产品寿命。
蓝光LED的几条技术路线,每条都有自己不同的困难,全都被卡住了。
而‘他’就是通过定制MOCVD的方式,另辟蹊径,解决了GaN的制备问题。
......
“我和陈泉想定制两台MOCVD设备,做些预研。这部分研究工作,不会影响到MEMS产线的建设工作。”了解内情的曲燕秋,干脆把话接了过去。
“不影响到MEMS建厂,那就没有问题了。”
王湛长出一口气。如果工艺不停的变来变去,他的工作也很难做。
“而且我希望,这个定制设备的制造工作,就交给奉天科仪。”
陈泉补充。
MOCVD只是解决了GaN的制备问题,后续的一系列技术难点,以及解决方法,必须要设备到位后,才能去探索,他不想节外生枝。
“哦?好!当然好!我们热烈欢迎。”
奉天科仪的几个人,先是一愣,然后就是大喜。
“可MOCVD,我们并没有相关的生产经验啊。”技术科的王青山很快反应过来。
“没有经验,我们就不能生产了吗?”
刘民学赶紧接过话头。“我们厂的产品,哪个不是从零开始?包括我们的农用机械,不也是自行研发出来的吗?”
“可MOCVD不同。”
王青山不肯放弃。“国内关于MOCVD的资料特别少。据我所知,国外很多公司,都是购买现成的VPE设备进行改装。但VPE类设备对我们禁运,我们就是想买都买不到。”
“.......”
众人把目光,又重新投向了陈泉。
“要不,MOCVD的事情,先放一放?条件不成熟的东西,没有必要强求。毕竟国内的条件就这样。国外设备厂商很容易做到的事情,放到国内,就未必了。”
王湛打圆场。“让我们还是回到MEMS设备选型的问题上。”
“对,对。我们先讨论生产线的事情。”刘民学厂长使劲瞪了一眼自己的技术科长,又把期待的目光,以及满脸的笑容,重新带回会议桌。
.......
“....从技术参数和指标上看,贵厂的产品,基本符合了我们的预期。但我要再次强调,我们的产品是要被应用到航天和航空领域的。因此,参数指标不是第一位的,质量和稳定性,才是最重要的。”
经过了漫长的讨论,王湛终于下了结束语。
“关于质量,请领导放心,绝对不会出问题的,毕竟我们也是有多年历史的老厂了。”
刘民学大拍胸脯。
会议室里的气氛,很快就融洽了起来。
......
“食堂那边还没有准备好。”刘秘书回来报告。
刘民学问:“我们先休息会?还是到车间再去转转?你们再帮我们提提建议?”
“你看呢?”王湛转身征求陈泉的意见。
刚才的设备参数讨论,陈泉很少说话,反而曲燕秋的态度非常积极,一直在不停地问东问西。
陈泉没有回答问题,而是把目光转向了技术科科长,王青山。“能不能借我一套绘图板?”
“绘图板?你要绘图板做什么?”
王湛诧异了。“.....你难道要自行设计MOCVD设备吗?”
虽然王湛与陈泉有过几次接触,但两人还远远谈不上熟悉。对于陈泉的固执己见,王湛有了点意见。
设计一台全新设备,哪是那么容易的事情。
不过他不好多说什么,尤其在外人面前。
“试试看吧。”
陈泉没有把话说死。虽然有“他”的记忆打底,但陈泉连图板的边都没有摸过。
但现在绝对不是放弃的时候。这次的机会,可以说稍纵即逝。再次回到奉天科仪,不一定是什么时候的事情了。
如果无法如愿,带走记忆中的那台MOCVD,蓝光LED彻底没有了希望。
“那....”
刘民学用目光征询意见,发现陈泉并没有放弃的意思,王湛也不说话,他只得吩咐。“小刘,找人抬一副图板过来吧。”
“抬我那副吧。”
王青山站起来,跟了出去。“我那副是磁铁绘图板,条件好一些。”
.......
很快的,一副设计人员常用的零号工程绘图板,被四个人抬进了大会议室。
“这是活动丁字尺,只要这么一拉,它就能在导轨上......”王青山给陈泉介绍他的宝贝。
“你们工大的电子系学生,也要学机械制图吗?”
王湛在后面,小声的问曲燕秋。
“电子系的学生没有制图课。但陈泉,你是知道的。他总是能做出些出人意料的事情,不是吗?”曲燕秋只能如此回答。
“要不你把想法说出来,我来画图....”
王青山看着陈泉,满脸好奇的摆弄着图板上的各种配件,一看就是没有接触过机械设计的全新选手。
可就在所有人的惊讶目光里,陈泉趴到了图板上。
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奉天科仪,三楼大会议室
“怎么样?小陈同学休息好了吗?”刘民学厂长关心的问道。
“我没事了。”陈泉的脸色已经恢复正常。“估计是昨天坐车时间太长,再加上休息不好。眯一会就好了。”
“那就好。那就好。”科仪的几位科长,都长长舒了一口气。
在参观的过程中,陈泉的脸色是越来越差。这让对考察报以厚望的主人们,心都悬了起来。他们搞不清楚,陈泉的脸色差,是因为身体原因,还是单纯的不满。
“希望这次意外,不会影响到对我们厂的评价。”
刘厂长还是有些不放心。
“没事,陈泉他的身体就是这样。毕竟年龄小,底子薄。”王湛乐呵呵的安抚。“但年轻人嘛,恢复得也快。不要介意。”
“那好,让我重新介绍吧。”
刘民学咳嗽了一声,吸引了所有人的注意。
创建于1958年的奉天科仪,属于集成电路装备和真空仪器设备领域的先行军。在一切自力更生的年代,有过辉煌的历史。
随着国门的打开,在进口产品的降维冲击下,奉天科仪的形式急转直下。
随着价格双轨制的取消,这两年奉天各企业的经济形势普遍向好,所以奉天科仪也在积极转型,例如进军农业机械市场,但效果越来越差。
......
“不知道,我们的这些介绍,是否足够详细?”刘民学厂长最后问。
“不错,不错。够了,够了。”
王湛已经在奉天两天了,对科仪的印像很是不错。
除了厂家本身的实力,也有容易配合的考量。毕竟其他设备厂家离冰城太远,沟通不方便。不说时间上的浪费,长途火车票也是紧俏物资的一种,不是想买就能买到的。
“在MOCVD领域,你们有什么积累吗?”
陈泉突然问到。奉天科仪的介绍,始终围绕着PVD类产品进行。
“MOCVD?”
刘民学有点意外,然后把目光投向了技术科科长王青山。这个领域,他并不熟悉。
“据我所知,MOCVD技术并不成熟,市面上好像还没有类似的产品吧。”
王青山有点不太确定。
MOCVD是从VPE基础上发展起来的新技术。
在MOCVD技术中,反应气体在高温下结合,形成的材料沉积在基板上。含有所需化学元素的生成物再和氢化物的表面反应,形成材料和化合物半导体的外延。
不同于传统的硅半导体,这些半导体可以包含的组合III族和V族,II族和VI族,IV族或第IV族,V和VI族的元素。
MOCVD相关理论提出得很早,但真正走入实际验证,不过是近几年的事情。有一些厂家,自行改造定制MOCVD,但相关技术和产品,远远没有成熟到可以商用的程度。
“你想在MEMS中,弃用PVD,转用MOCVD设备?”王湛听到消息,也是吃了一惊。“是又有什么新的发现吗?MEMS工艺要做大的修改吗?”
“嗯,怎么说呢......”
陈泉陷入了沉思。
蓝光LED之所以在红光,绿光LED面世二十年之后,还不能量产,就是因为遇到难以克服的困难。
在蓝光LED领域,人类的最早研究,走的是GaN路线。但GaN的合成太困难。
另外,科研人员还发现,GaN除了具有很高的缺陷密度,因此,大多数人都转向了其他技术方向。
目前市场上,有些低亮度的蓝光LED商品售卖,其走的是SiC路线。但这条路线,从原理上,发光效率就不高。
因此大量的研究人员,又转向了ZnSe材料。ZnSe材料,无论是理论,还是实际发光效率,都取得了很大进展,但这条路线始终面对一个令人头疼的问题,那就是产品寿命。
蓝光LED的几条技术路线,每条都有自己不同的困难,全都被卡住了。
而‘他’就是通过定制MOCVD的方式,另辟蹊径,解决了GaN的制备问题。
......
“我和陈泉想定制两台MOCVD设备,做些预研。这部分研究工作,不会影响到MEMS产线的建设工作。”了解内情的曲燕秋,干脆把话接了过去。
“不影响到MEMS建厂,那就没有问题了。”
王湛长出一口气。如果工艺不停的变来变去,他的工作也很难做。
“而且我希望,这个定制设备的制造工作,就交给奉天科仪。”
陈泉补充。
MOCVD只是解决了GaN的制备问题,后续的一系列技术难点,以及解决方法,必须要设备到位后,才能去探索,他不想节外生枝。
“哦?好!当然好!我们热烈欢迎。”
奉天科仪的几个人,先是一愣,然后就是大喜。
“可MOCVD,我们并没有相关的生产经验啊。”技术科的王青山很快反应过来。
“没有经验,我们就不能生产了吗?”
刘民学赶紧接过话头。“我们厂的产品,哪个不是从零开始?包括我们的农用机械,不也是自行研发出来的吗?”
“可MOCVD不同。”
王青山不肯放弃。“国内关于MOCVD的资料特别少。据我所知,国外很多公司,都是购买现成的VPE设备进行改装。但VPE类设备对我们禁运,我们就是想买都买不到。”
“.......”
众人把目光,又重新投向了陈泉。
“要不,MOCVD的事情,先放一放?条件不成熟的东西,没有必要强求。毕竟国内的条件就这样。国外设备厂商很容易做到的事情,放到国内,就未必了。”
王湛打圆场。“让我们还是回到MEMS设备选型的问题上。”
“对,对。我们先讨论生产线的事情。”刘民学厂长使劲瞪了一眼自己的技术科长,又把期待的目光,以及满脸的笑容,重新带回会议桌。
.......
“....从技术参数和指标上看,贵厂的产品,基本符合了我们的预期。但我要再次强调,我们的产品是要被应用到航天和航空领域的。因此,参数指标不是第一位的,质量和稳定性,才是最重要的。”
经过了漫长的讨论,王湛终于下了结束语。
“关于质量,请领导放心,绝对不会出问题的,毕竟我们也是有多年历史的老厂了。”
刘民学大拍胸脯。
会议室里的气氛,很快就融洽了起来。
......
“食堂那边还没有准备好。”刘秘书回来报告。
刘民学问:“我们先休息会?还是到车间再去转转?你们再帮我们提提建议?”
“你看呢?”王湛转身征求陈泉的意见。
刚才的设备参数讨论,陈泉很少说话,反而曲燕秋的态度非常积极,一直在不停地问东问西。
陈泉没有回答问题,而是把目光转向了技术科科长,王青山。“能不能借我一套绘图板?”
“绘图板?你要绘图板做什么?”
王湛诧异了。“.....你难道要自行设计MOCVD设备吗?”
虽然王湛与陈泉有过几次接触,但两人还远远谈不上熟悉。对于陈泉的固执己见,王湛有了点意见。
设计一台全新设备,哪是那么容易的事情。
不过他不好多说什么,尤其在外人面前。
“试试看吧。”
陈泉没有把话说死。虽然有“他”的记忆打底,但陈泉连图板的边都没有摸过。
但现在绝对不是放弃的时候。这次的机会,可以说稍纵即逝。再次回到奉天科仪,不一定是什么时候的事情了。
如果无法如愿,带走记忆中的那台MOCVD,蓝光LED彻底没有了希望。
“那....”
刘民学用目光征询意见,发现陈泉并没有放弃的意思,王湛也不说话,他只得吩咐。“小刘,找人抬一副图板过来吧。”
“抬我那副吧。”
王青山站起来,跟了出去。“我那副是磁铁绘图板,条件好一些。”
.......
很快的,一副设计人员常用的零号工程绘图板,被四个人抬进了大会议室。
“这是活动丁字尺,只要这么一拉,它就能在导轨上......”王青山给陈泉介绍他的宝贝。
“你们工大的电子系学生,也要学机械制图吗?”
王湛在后面,小声的问曲燕秋。
“电子系的学生没有制图课。但陈泉,你是知道的。他总是能做出些出人意料的事情,不是吗?”曲燕秋只能如此回答。
“要不你把想法说出来,我来画图....”
王青山看着陈泉,满脸好奇的摆弄着图板上的各种配件,一看就是没有接触过机械设计的全新选手。
可就在所有人的惊讶目光里,陈泉趴到了图板上。